Созданная томскими учеными электронно-ионно-пучковая машина открывает новые возможности для инжиниринга поверхности материалов
Учеными Томского научного центра СО РАН и Института сильноточной электроники СО РАН разработана и произведена компактная машина «Пульсар», с помощью которой в одном производственном цикле образец может подвергаться сразу трем операциям – обработке электронным и ионными пучками, а также магнетронному распылению. Их комбинация открывает качественно новые возможности для отработки технологий инжиниринга поверхностей сложных сплавов с заранее заданными физико-химическими свойствами для нужд авиа- и машиностроения, медицины, электротехники, производства штамповых инструментов.
– Преимущества новой установки – это компактность, быстрота обработки образцов, контроль всех параметров происходящих процессов. Ее применение позволит предложить множество различных технологий модификации поверхности материалов, в том числе хрупких и непроводящих. Полученные в результате образцы сразу готовы для дальнейшего исследования их структуры с помощью электронного микроскопа, что очень важно для передовых материаловедческих исследований, – рассказывает младший научный сотрудник лаборатории перспективных технологий ТНЦ СО РАН Всеволод Петров.
Образцы помещаются внутрь вакуумной камеры «Пульсара» на специальный круглый столик, похожий на музыкальный диск, который вращается с помощью манипулятора. Сам процесс обработки поверхности можно сравнить с созданием пластинки, только вместо вокалистов и музыкальных инструментов здесь на образец «записываются» совсем другие «партии»: модификация поверхности электронным и ионными пучками, нанесение и перемешивание пленок с подложками с помощью магнетронного распыления.
Машина снабжена источником питания и электронной пушкой. Все процессы полностью автоматизированы, они протекают по времени значительно быстрее, чем при работе с более крупной установкой. Именно это позволяет очень быстро найти перспективные технологические решения. Подобные установки могут быть произведены и для других научных учреждений и технологических центров, где ведутся передовые исследования в области материаловедения.
© Пресс-служба ТНЦ СО РАН
